通常使用的檢測器是一種電子倍增器，如下圖所示：

它的結構類似于光電倍增管，由很多串聯的電極板構成，這些電極稱為打拿極（dynode），每兩個打拿極都均勻分擔著外加的高壓。當離子入射到第一個打拿極時，和電極碰撞，離子消失，同時產生了自由電子，電子在電場作用下向下一級電極板移動，并打出更多的電子，如此形成了倍增效應。當一個離子入射時，將最終在輸出端形成一個脈沖信號。
    檢測器通過對一定時間內的脈沖信號的計數可以得到離子強度的相對值，檢測器工作在數字檢測方式。當離子強度較大時，達到產生的電子脈沖互相重疊時，脈沖數目便無法計算了，即達到了飽和，此時檢測器可以切換到模擬檢測方式（累計信號），如下圖所示。

ICP-MS電子倍增器，動態線性范圍≥10個數量級；能夠滿足從亞ppt級到百分級濃度的測定；對于Na標準溶液濃度0、5000ppm、10000ppm建立的標準曲線，線性優于0.999，軟件截圖如下：